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即便后来浸润式光刻机出来了，国内在很长时间里，依旧以干式机为主。
那段时间里，国内就是个破烂王国，佳能的EX3L和5L、尼康的NSR1010G，ASML的FPA2500，SVGL的Micrascan
I，甚至GCA在78年推出的，当时来说已经老掉牙的第一代Stepper都能见到。
接触的多了，曲卓对关联的技术、结构和工艺什么的了解的很详细。
剔除掉其他工艺和流程，只说光刻机本身，作为光源的氟化氪和氟化氩准分子激光……暂时就甭惦记，离得稍微有点远。
眼下国内虽然可以自产高压汞灯，但稳定性和寿命远不达标。
450nm以上的稳定光源，曲卓有“收录”。但只能“买”出成品，没有生产工艺和设备，对应的光刻胶也一样。
至于I线和G线，好像是80年后汉斯先搞出来的。
镜头模组……已经收录到了紫外高透玻璃，抛光、镀膜、校准，对于脑子里的“系统”来说完全没有任何难度。
关键还是老问题，拿不出专用的高精度铣床。别说铣床了，小磨头都不知道去哪“收录”。
至于进一步提升精度的磁流变抛光、离子束抛光那些……唉~约等于让驾校教练的去教潜水，全是知识盲区，太难为人了。
所以，依旧只能想招给内陆提供成品，却没办法完善产业链上的缺失。
尼康和佳能肯定能“摸”到不少玩意，问题是……想个什么招儿呢？
对于一台光刻机来说，技术难度最高的就是光学及相关部分。其它的……虽然“素材”还欠缺很多，但只搞出个唬人的大框，基本谈不上多大的难度。
只要让英国佬以为，我们在技术层面，甚至是实验室层面的完成度已经足够高了。除了欠缺几项关键技术和工艺，主要缺乏的不过是工业化和体系化生产的能力就行。
再加上领先的集成电路设计能力和通用型系统，砝码绝对够重。
综合起来看，曲卓要实现上面的意图……不难，却不能轻易的答应。
可开出什么样的条件，他还真没想好。
小来小去没意思。
要狠了，就算眼下上面没招，捏着鼻子答应了，过后保不齐就会想招找后账。
甭以为位子高的人，就一定大气。不过是更加懂得取舍和权衡罢了。
而曲卓的策略是，本职工作毫无二话，保质保量完成的同时，还会交出超出预期的答卷。
但工作范围之外的事，就得掂量掂量拿捏拿捏了。
不掂量不拿捏，就得让人逮着了往死里攥……
梅宣宁气呼呼的走了，曲卓乐呵呵的相送。
他知道梅老二回去后，肯定会把问题扔回给安全部门，让那帮人自己看着办。
这也是曲卓半步不退的原因。
毕竟今天谈的内容，跟曲卓是不相干的，跟梅宣宁也是不相干的。
如果是梅宣宁的事，态度自然就不一样了。能办的话，制造点难度就给办了。
因为，这位是真大腿，做人也比较讲究，多卖点人情没坏处。一旦后面哪天出了什么纰漏，能顶大用呢。
前提是，得让梅老二知道欠下人情份量有多重。
安全部门甩出来的这档烂事儿，就是个很好的，可以用作称量和比对的参照物……
只要有事忙，时间过得就飞快。
曲卓以记忆中GCA的Stepper为基础，参考佳能的EX3L和尼康的NSR1010G在稳定性和经济性方面的部分技术，搞了台步进式光刻机的设计出来。
不知道多少次的修改和微调后，最终定稿。
随后，将加工流程拉展，由柜式立体布局变成线式布局。
这样设计有很大的缺陷，增加物料成本和调试难度都是小事。
关键在于拉展后，通过自动轨道进行重复对准和曝光，以及清洗和固化的线程被拉长了。必然会增加误差和被污染的几率，结果就是降低良品率。
但是没办法，柜式立体设计缺太多“素材”了。以至于只能停留于“蓝图”状态。
改成线式布局后，可以拆分后把能买的先“买”出来不出来的回头给设计。
这也是实验室做技术论证的正常状态。
还能让英国佬直观的看到我们“已经拥有”技术实力，以及欠缺的，需要他们补足的地方。
当然了，肯定不能老实巴交的直接把“家底”全抖搂光。至于具体怎么谈，自然有人去谋划和执行。
关于“谈判”这件事，咱家的手段一直是高明的。尤其是国家队出手，只要给他们足够的“弹药”，吃亏的可能性很小。
即便吃点小亏，能搞定部分我们急需的配套产业设备和技术也行。
毕竟步进式光刻机从G线到ArF，历经了小二十年呢，中间进行过多次技术迭代。
即便在初代设备上吃点小亏也没关系，全当积累经验了，后面有大把机会可以找补回来。
时间一晃就到了十二月十号。
早晨六点多，曲卓难得起了个大早，收拾立整后围上围脖扣上棉帽子，出门奔帽儿胡同西口杵着。
一直等到七点多，杨颖才开着BJ212打南边过来……
“怎么才来？”曲卓缩进后座，冻得直哆嗦。
破车节温阀修两次了，水温上的还是特别慢。以至于从空院开到什刹海，暖风依旧约等于无。
“我妈起晚了，还非要去买油条，还煮鸡蛋。耽误了好多时间。”杨颖嘟着嘴抱怨。
姑娘今天穿的贼朴素，也贼厚实。
不穿厚点不行，作为考场的五十四中没暖气。挺大的教室里就生个小破炉子，要是分到边边角角的座位，能冻的手都伸不直。
“一根油条俩鸡蛋？”曲卓很意外，没想到眼下这年月，就有如此吉利的吃法了。
“嗯~你开呗。冻手。心里还发慌。”杨颖瘪着小肉嘴撒娇。
“现在才知道慌，早干嘛去了。”曲卓挪屁股下车，上了驾驶位，开着212直奔和平里。
“……”杨颖对着某人的后脑勺嘟嘴做鬼脸。
眼看就要到五十四中了，前面路两侧乌泱泱的全是人。零下十来度的气温下，人群呼出的白气都连成片了。
这年头不流行家长送考，不用问，全都是等着进考场的考生。
人家都是骑车、坐公车，甚至是大老远步行过来的。开着车过来考试太扎眼，杨颖昨天跟乔小雨约好了在东街辅路路口碰头。
曲卓放慢车速穿过一帮一撮一群群的考生，越过学校正门后在前面路口左转。
往前开了一点，离着还挺远呢，就看到了路边穿着暗红底黑格子棉袄，一边跺脚一边把两只手放在嘴边哈气的乔小雨。
点了脚油门开过去，踩下刹车推开车门，黑着脸招呼：“上车！”
乔小雨看到某人傻了一下，醒过神赶紧坐进副驾驶，惊讶的问：“你怎么来啦？”
“手套呢？”曲卓不由分说的把棉帽子扣媳妇脑袋上，拽过两只拔凉的手，直接塞进衣襟下面。
乔小雨看了眼后座的杨颖，冻得有些发白的小脸上浮起一片红晕。蚊子大的声音说：“我寻思……考场没地方放。”
“你可真行！准考证、笔、演算纸，都带没？”
“带了。”乔小雨抽回一只手，解开两颗扣子，从棉袄里怀掏出个防雨绸袋子。
里面有钢笔，手里拎着怕钢笔水冻了。
“完了！”后座的杨颖忽然冒出一句……喜欢1976步步生莲请大家收藏：
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